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带石墨、钼或MoSi2加热元件的高温真空炉VHT
 
VHT 8/22-GR VHT 40/22-GR  

石墨加热元件

钼加热元件

陶瓷纤维加热元件

VHT配气图,自动操作

一级式转阀泵,用于低度真空(至20 mbar)下的热处理操作

二级式转阀泵,用于真空环境(至10-2 mbar)下的热处理操作

带增压泵的涡轮分子泵,用于真空环境(至10-5 mbar)下的热处理操作

VHT配气图,分离和烧结

VHT系列的紧凑型窑炉属于电加热型箱式炉,加热元件由石墨、钼或MoSi2制成。通过采用多种加热设计和齐全的配件,该型窑炉亦可用于各项高技术要求的操作。 真空密封工作罐允许窑炉在保护气和反应气气氛或真空环境下(视规格而定,压力可达10-5 mbar)进行热处理加工。 通过配备相应的安全技术,窑炉也可用于氢气操作。

加热设计

石墨– VHT ../GR

  • 用于保护气和反应气或真空操作
  • 最高温度1800 °C或2200 °C
  • 石墨毡保温结构
  • 温度测量通过B型热电偶(最高温度1800 °C)
  • 温度测量通过光学高温计(最高温度2200 °C)
  • 用于高纯度保护气和反应气或高度真空(至10-5 mbar)操作
  • 最高温度1600 °C
  • 钼辐射板保温结构

MoSi2 – VHT ../KE

  • 可用于保护气和反应气、空气或真空操作
  • 最高温度1800 °C
  • 高纯度氧化铝保温结构

VHT基本炉型(所有加热设计)

  • 标准炉腔容量8、40或100升
  • 全面水冷式不锈钢工作罐带O形耐热密封环
  • 钢质支架结构稳定,容易卸取的不锈钢盖板方便维护操作
  • 带滑滚的炉型VHT 8移动方便
  • 配备进回流关闭旋塞的冷却水分配器,自动化的流量监控,开放式的冷却水系统
  • 配备流量和温度显示及超温保护装置的可调冷却水循环系统
  • 开关设备和控制器集成在炉壳内
  • PLC控制器H 700配备设计简洁的5.7英寸触摸式面板,用于输入程序和显示,最多可保存10个程序(每个程序20个可编程段)
  • 过温保护限制器,根据EN 60519-2标准热力保护级别2调节断开温度
  • 手动操作工作气和真空功能
  • 手动配送工作气(N2或Ar),流量可调
  • 带手控阀的旁路加快炉腔填充
  • 配备溢流阀(相对压力20 mbar)的手控排气口
  • 带球阀的一级式转阀泵,用于预抽真空和低度真空(至5 mbar)下的热处理
  • 用于压力目视监控的压力计

额外配置

  • 外壳可拆分,以便在炉门开口较小的情况下进行安装
  • 手动配送第二种工作气(N2或Ar),流量和旁路可调
  • 钼或CFC石墨曲颈进行直接配气,以确保干净的气体和良好的炉腔温度分布
  • 带显示装置的装料热电偶
  • 带球阀的二级式转阀泵,用于预抽真空和真空环境(至10-2 mbar)下的热处理
  • 带封闭冷却水循环的换热器

通过使用工作气和排气管理自动阀门及功率强大的调节装置H3700,整个热处理过程可以实现全自动化运行。通过一台12英寸的触摸式面板可以轻松输入所有生产数据(温度、加热速度、供气和真空)。流程统领窗口显示设备状态和所有与作业有关的数据。所有的阀门和真空泵可以手动选择。 设备配备一个自动化的预编和后置程序(用于炉腔惰性化)和一个自动泄漏测试装置。

VHT自动化炉型
  • 设备特点和VHT基本炉型相同,再加上:
  • 自动配送工作气(N2或Ar),流量可调
  • 旁路加快炉腔填充
  • 带波纹阀和溢流阀(20mbar)的自动排气口
  • 带波纹阀的一级式旋转叶轮泵,用于预抽真空和低度真空(至20 mbar)下的热处理
  • 用于绝对和相对压力测量的压力传感器
  • 调节装置H3700(10个程序/ 20个段)
  • 通过12英寸的触摸式面板进行操作

额外配置

  • MFC流量调节器,用于变换的体积流量和混合气制造(和第二种工作气)
  • 炉压调节装置,配备位调排气阀(分压力调节)
  • 排气燃烧装置(电或气加热),用于后燃操作过程中生成的废气
  • 水冷式排气冷却装置
  • 冷凝液收集器,用于分离较多的凝聚物
  • 带波纹阀的二级式旋转叶轮泵,用于预抽真空和真空环境(至10-2 mbar)下的热处理
  • 带涡轮分子泵(带截止阀)的泵工作站,用于预抽真空和真空环境(至10-5 mbar)下的热处理 (只用于钼规格),包含电压力传感器和增压泵
  • 通过NCC运作的PC控制系统,可以进行相应的记录并和客户的PC网络建立连接
扩展包– VHT-MO和 VHT-GR氢气操作

在使用氢气作为工作气时,我们的设备均配备必需的安全技术。我们只选取技术过硬并通过相应认证的装置作为安全传感器。窑炉由无故障控制系统(S7-300F/安全控制系统) 进行调节。控制和记录功能通过NCC实现

为确保安全的氢气操作,有两种与温度有关的设计方案供选择:

  • 分压力工作:在调节性负压(分压力)下将H2导入工作罐,自750 °C炉温起
  • 气氛操作:自室温起导入H2(相对压力50 mbar),工作容器内超压可控

带氢气操作的VHT自动化炉型

  • 设备特点和不带氢气操作的VHT自动化炉型相同,再加上:
  • 大量用于氢气操作的工作气阀门
  • 所有工作气的预压受到监控
  • 紧急充溢罐压力监控器,配备可自动打开的电磁阀
  • 排气燃烧装置(电或气加热),用于H2后燃
 VHT ...-18/GRVHT ...-16/MOVHT ...-18/KE
惰性气体
空气至400 °C-
氢气-
低度、微小真空(>10-3 mbar)
高度真空(<10-5 mbar)--
型号最高温度内尺寸mm容积外尺寸mm连接功率电气重量保温材料
 °C千瓦连接*公斤/加热元件
VHT 8/18-GR180017024020081250 (800)¹1100200027,03相1200石墨/石墨毡
VHT 40/18-GR18003004503004015002000230083,03相2000石墨/石墨毡
VHT 100/18-GR1800450550450100175022002600按需供应3相2800石墨/石墨毡
             
VHT 8/22-GR220017024020081250 (800)¹1100200027,03相1200石墨/石墨毡
VHT 40/22-GR22003004503004015002000230083,03相2000石墨/石墨毡
VHT 100/22-GR2200450550450100175022002600按需供应3相2800石墨/石墨毡
             
VHT 8/16-MO160017024020081250 (800)¹1100200034,03相1200
VHT 40/16-MO160030045030040150020002300122,03相2000
VHT 100/16-MO1600450550450100175022002600按需供应3相2800
             
VHT 8/18-KE180017024020081250 (800)¹1100200012,53相1200MoSi2/陶瓷纤维
VHT 40/18-KE18003004503004015002000230045,03相2000MoSi2/陶瓷纤维
VHT 100/18-KE1800450550450100175022002600按需供应3相2800MoSi2/陶瓷纤维
¹去除开关设备 *连接电压参见第42页

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